島津製作所：半導体製造プロセス向け「超純水用オンラインTOC計」ご紹介

島津製作所：半導体製造プロセス向け「超純水用オンラインTOC計」ご紹介

　超純水用オンラインTOC計
　　On-Line TOC Analyzer for Ultrapure Water
　TOC-1000e S　

半導体製造プロセスでは極微小な汚れでも製品の品質に影響を及ぼします。半導体の微細化が進むと共に、微量な有機汚染が製品の歩留まり低下を引き起こす深刻な課題となっており、製造プロセスで使用される洗浄水の純度要件がさらに厳格化しています。特に最先端半導体の製造プロセスにおいては、尿素などの難分解性有機物の存在を可視化する必要性が高まっていますが、従来の酸化分解方式では検出が困難でした。そこで、導電率測定方式を採用した超純水用オンラインTOC 計 TOC-1000e S は、世界中の最先端半導体デバイスメーカーの声を反映し、これらの課題を解決するために開発されました。島津のTOC 計は50 年以上にわたり世界中で愛用されており、ベストセラーとしての地位を確立しています。長年培った技術と経験を活かし、半導体製造プロセス向けの超純水用オンラインTOC 計をお届けします。

●1µg/L以下のTOC濃度を示す超純水を、安定して測定することができます。
●超小型の本体に大きなカラータッチパネルを搭載しており、簡単に操作を行うことができます。
●ランプと試料流路を一体化した「Active-Path™」の構造により、高い酸化力を実現します。